진공배관 사용법과 규격표, 일반배관의 차이점

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1. 진공용 배관 파이프의 개념

진공용 배관(Vacuum Piping)은 진공 상태를 유지하거나 원하는 압력 수준을 조절하기 위해 사용되는 특수 배관 시스템이다. 일반적으로 반도체, 연구실, 제약, 식품, 화학, 항공우주 및 산업 플랜트 등에서 사용되며, 공기 및 기타 기체를 이동시키는 용도로 활용된다. 진공 배관 시스템은 기밀성이 높고, 누설이 없는 구조가 필수적이며, 일반 배관보다 높은 정밀도와 내구성이 요구된다.

2. 진공용 배관과 일반 배관의 차이점

2.1 설치 방법

진공 배관과 일반 배관은 설치 방식에서 몇 가지 차이점을 가진다.

구분진공 배관일반 배관

연결 방식	용접, 플랜지, VCR 피팅, KF/ISO 클램프	나사산, 플랜지, 용접, 압착 피팅
밀폐성	극도로 높은 밀폐 필요 (기체 누출 방지)	일반적인 밀폐 필요
내부 표면 처리	고도로 연마된 내부 표면 (Ra ≤ 0.2 μm)	일반적으로 내부 거칠기 유지
설치 환경	청정룸, 고진공 환경 필요	일반 산업 환경

진공배관 설치, 채결 방법 : 배관 + 가스켓 +클램프

진공배관 T

진공배관 클램프

 

2.2 모양 및 구조적 차이

진공 배관과 일반 배관은 설계 및 모양에서도 차이가 있다.

• 진공 배관: 내부 표면이 매끄럽고, 피팅과 연결부가 정밀 제작됨.
• 일반 배관: 기체 및 액체의 흐름을 고려하여 설계됨.

2.3 사이즈 및 규격

진공 배관은 특정한 산업 표준에 따라 제작되며, 대표적인 규격은 다음과 같다.

(1) KF/ISO 배관 규격 (밀폐형 진공 배관)

배관 규격	내부 직경 (mm)	외부 직경 (mm)
KF10	10	12
KF16	16	18
KF25	25	28
KF40	40	42
KF50	50	55

(2) 일반 산업용 배관 규격 (ANSI/ASME 규격)

Nominal Pipe Size (NPS)	내부 직경 (mm)	외부 직경 (mm)
1/2"	15	21.3
1"	25	33.4
2"	50	60.3
4"	100	114.3
6"	150	168.3

3. 진공용 배관의 주요 특징

1. 고진공 및 초고진공 환경 유지 – 일반 배관보다 기밀성이 높아야 함.
2. 고품질 용접 및 연결 방식 사용 – TIG 용접, VCR 피팅, KF 클램프 등이 일반적.
3. 부식 및 오염 방지 – 스테인리스강(SUS304, SUS316L) 또는 알루미늄 사용.
4. 내부 표면 처리 필수 – 오염 방지 및 기체 흐름 최적화를 위해 내부 연마.
5. 고온 및 저온 환경 대응 가능 – 저온 진공 장비 및 고온 플라즈마 공정에 사용됨.

4. 결론

진공 배관은 일반 배관과 비교하여 높은 밀폐성과 정밀한 설계가 필요하다. 특히, 반도체 및 연구개발 분야에서는 내부 표면 처리 및 용접 방식에 대한 엄격한 관리가 이루어지며, 규격화된 KF, ISO, ANSI 시스템이 적용된다. 이러한 차이점으로 인해 진공 배관은 높은 품질 관리와 전문적인 시공 기술이 요구된다.

 

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